Особенности ионно-плазменного осаждения пленок твердых растворов (SIC)1-X(AlN)X
Аннотация:
Представлены результаты исследований, направленных на создание технологии получения пленок твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x. Рассматриваются особенности технологического процесса осаждения пленок (SiC)1-x(AlN)x, факторы, влияющие на структуру и качество осаждаемых пленок. Методами рентгеновской дифракции и электронной микроскопии проведены исследования структуры, состава и морфологии поверхности полученных экспериментальных образцов (SiC)1-x(AlN)x. Показано, что пленки, полученные на подложках 6H-SiC при температуре Т~1273К, имеют монокристаллическую структуру.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Испарительно-рекуперативные системы кондиционирования
- Экспериментальное исследование плотности бинарных смесей фторэфира HFE347mcc с хладоном R218 и разработка многоконстантного уравнения состояния вириального типа
- Снижение энергозатрат в процессах производства и хранения замороженных продуктов
- Исследование температурных свойств электрического переключателя на основе диоксида ванадия
- Холодильные агенты – без границ*
- Параметрическое исследование регенеративного теплообменника
- Моделирование процесса инееобразования на поверхности воздушного прибора охлаждения
- Расчет температурного поля зоны человеческого организма при локальном тепловом воздействии устройством на базе полупроводниковых термоэлектрических преобразователей
- К вопросу расчета деталей холодильных машин, изготавливаемых из материалов с технологической анизотропией